倾斜式生长Alq3薄膜及其光学性能的表征

摘要

利用实验室已有的倾斜式生长装置,制备出了具有不同微纳结构的Alq3(喹啉铝)薄膜.对制备的不同微纳结构Alq3薄膜的形貌及晶体结构进行了表征与分析,分析了入射角度对薄膜微纳结构的影响及其机理,分析了薄膜倾斜式生长的动力学过程.结果表明:当入射粒子流与衬底法线的夹角为80°,获得了柱状结构的Alq3薄膜,且薄膜有沿(111)晶像择优生长的具有闪锌矿立方相的晶体结构;当倾斜角为0°时,则形成了连续致密结构的薄膜,且薄膜有沿(222)晶像择优生长的具有闪锌矿结构.