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辛煜; 鲁涛; 黄壮雄; 濮林; 施毅; 宁兆元; 郑有炓;
苏州大学物理科学与技术学院;
江苏省薄膜材料省重点实验室;
215006;
南京大学物理系;
南京210093;
电子回旋共振等离子体; a-薄膜; 红外光谱; 光学性能;
机译:PECVD法制备SiNx和SiOx薄膜的结构和性能比较
机译:通过热蒸发方法制备薄膜及其表征:结构,光学和热电性能
机译:通过氧化锌薄膜制备的ZnO薄膜的光学和结构表征
机译:化学浴沉积(CBD)方法制备的ZnS薄膜的制备和表征:光学,电学和结构特性
机译:钕(2-x)铯(x)铜氧(4-y)超导薄膜和异质结构的制备,表征和性能。
机译:低温ALD法制备的二乙基锌和1.5-戊二硫醇低温ALD制备ZnS超薄膜的结构和光学表征。
机译:由无序Y-ErBaF2Cu薄膜制备的超导Y-ErBaCuO薄膜的微观结构和性能
机译:具有SiNx薄膜和BN薄膜的多层纳米层压结构的半导体器件中的绝缘层及其形成方法
机译:在MOCVD制备的薄膜上具有富含SiNx的表面层的阻挡层/衬垫
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