大气等离子喷涂Al_(2)O_(3)/ZnO/TiO_(2)涂层微波介电性能的研究

摘要

采用高焓大气等离子喷涂技术,以纳米级ZnO、Al_(2)O_(3)和TiO_(2)为原料,通过固相反应制得以ZnAl_(2)O_(4)为主相的陶瓷粉末,加入粘结剂聚乙烯醇(PVA),通过喷雾造粒的方法制备复合吸波陶瓷涂层(简称为AZT涂层)。分析了AZT涂层的微观结构和相组成,探究了喷涂功率对AZT涂层微波介电性能的影响。结果表明,AZT涂层对比粉末有了较大变化,ZnAl_(2)O_(4)在高温等离子火焰中发生部分分解,TiO_(2)以非计量化学比形式析出。介电性能测试表明,随着喷涂功率的增加,涂层介电常数ε′下降,损耗角正切值tanδ在0.11~0.15之间变化,呈现着先增加后下降的趋势。在功率为60 kW时,介电常数达到最低的6.38,损耗角正切值达到最低的0.11。