等离子喷涂ZnO/Al2O3涂层微波介电特性研究

摘要

采用等离子喷涂工艺,以氧化锌(ZnO)作为吸收剂,氧化铝(Al2O3)为填料,聚乙烯醇(PVA)为粘结剂制备成ZnO/Al2O3复合涂层.分析了复合涂层的相组成及微观结构,研究了氧化锌含量对复合涂层介电性能的影响.结果表明,经喷涂后的涂层中有新相ZnAl2O4生成,其含量随原料中ZnO的含量增加而增加.涂层的密度与涂层中氧化锌含量有关.介电性能测试表明,涂层中ZnO含量的增加使涂层介电常数实部(ε′)及损耗(tanδ)先增加后降低.ZnO摩尔含量为65%时,随频率的增加,涂层介电常数呈降低的趋势.