一种等离子喷涂技术制备钛酸铜钙高介电涂层的方法

摘要

本发明提供了一种等离子喷涂技术制备钛酸铜钙高介电涂层的方法。所述制备钛酸铜钙高介电涂层的方法，包括如下步骤：步骤（1）：选择钛酸铜钙粉末；步骤（2）：对待喷涂的基材铝箔表面进行预处理；步骤（3）：将经过预处理的铝箔基材固定在钢板上，选择氩气和氢气为离子气体，氮气为送粉载气，通过真空等离子喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备钛酸铜钙高介电涂层。依发明所制备涂层结构紧密，孔隙率低，介电常数高，耐久性良好，可用于薄膜基体表面涂层的制备。