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SrTiO3薄膜材料的高分辨率X射线衍射分析研究

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本文应用高分辨X射线衍射(HRXRD+TAXRD)技术对外延生长的SrTiO3膜进行了分析,获得了有关该薄膜的晶体取向、衬底的结构特性以及弛豫态的点阵常数等信息,对今后改进SrTiO3系列样品生长工艺有重要的意义.

著录项

来源
《功能材料》 |2004年第z1期|3311-3313|共3页
作者
姬洪; 左长明; 何士明; 熊杰; 李言荣;
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作者单位

电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.21;
关键词
高分辨X射线衍射; 外延生长; 弛豫态的点阵常数;

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