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离子束溅射BST薄膜的制备及结构分析

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摘要

本文采用离子束溅射的方法制备了不同衬底温度下的BST薄膜,用X射线、Raman、SPM等技术对晶体结构及微观形貌进行表征,研究了离子束溅射制备BST的工艺.

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来源
《功能材料》 |2004年第z1期|1379-1382|共4页
作者
陈亮; 张曙; 邓书康; 陈刚; 高立刚; 阚家德; 杨宇;
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作者单位

云南大学,材料科学与工程系,云南,昆明,650091;

云南大学,材料科学与工程系,云南,昆明,650091;

云南大学,材料科学与工程系,云南,昆明,650091;

云南大学,材料科学与工程系,云南,昆明,650091;

云南大学,材料科学与工程系,云南,昆明,650091;

云南大学,材料科学与工程系,云南,昆明,650091;

云南大学,材料科学与工程系,云南,昆明,650091;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
钛酸锶钡; 薄膜; 离子束溅射; 晶体结构;

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