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离子束溅射BST薄膜的制备及结构分析

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本文采用离子束溅射的方法制备了不同衬底温度下的BST薄膜,用X射线、Raman、SPM等技术对晶体结构及微观形貌进行表征,研究了离子束溅射制备的BST的工艺.

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来源
《第五届中国功能材料及其应用学术会议》|2004年|1379-1382|共4页
会议地点秦皇岛
作者
陈亮; 张曙; 邓书康; 陈刚; 高立刚; 阚家德; 杨宇;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国金属学会;

中国稀土学会;

中国复合材料学会;

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类溅射;
关键词
钛酸锶钡; 薄膜; 晶体结构; 溅射;

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