大连理工大学,微系统中心,辽宁,大连,116023;
大连理工大学,微系统中心,辽宁,大连,116023;
大连理工大学,电子工程系,辽宁,大连,116023;
大连理工大学,电子工程系,辽宁,大连,116023;
Department of Mechanical Engineering, University of Minnesota, 111 Church Street SE, Minneapolis, MN 55455, USA;
大连理工大学,微系统中心,辽宁,大连,116023;