碲铟汞(111)晶面腐蚀坑的研究

摘要

通过扫描电镜、扫描探针显微镜和电子背散射衍射仪对改进的Chen法腐蚀液在Hg3In2Te6(111)晶片上形成的腐蚀坑进行了研究.实验发现,腐蚀坑形貌主要有线形、梭形、枣形3种,且后两者的沟槽在(111)面的投影只有3种取向,并互成120°夹角.进一步分析的结果表明,上述蚀坑的形成可由螺位错双交滑移的模型加以解释.