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黄海宾; 沈鸿烈; 吴天如; 张磊; 岳之浩;
南京航空航天大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,211100;
热丝CVD; 锗硅薄膜; 键结构; 热丝温度; 锗烷硅烷流量比;
机译:热丝CVD法制备高导电性超纳米金刚石薄膜的结构性能
机译:热丝CVD法制备结晶氧化钨薄膜的结构演变研究
机译:使用GEH_4 / SIH_4和GEH_4 / SI_2H_6气体源在GESI薄膜LPCVD期间的气相耗尽
机译:射频PACVD合成DLC薄膜及其摩擦学性能:工艺参数的影响。
机译:封闭热丝CVD系统中金刚石膜的沉积
机译:通过热丝CVD生长的高导电超纳米金刚石薄膜的结构特性
机译:控制热丝辅助CVD金刚石薄膜的织构和缺陷结构。
机译:热丝CVD系统及其纤维结构和热丝CVD方法
机译:金刚石薄膜的制造方法,热丝CVD装置和机械密封
机译:氮化硼薄膜的热丝CVD
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