金膜表面光栅制备中飞秒激光参数的影响

摘要

为了研究飞秒激光参数对制备金膜表面光栅的影响,设计搭建了飞秒激光干涉微加工实验装置,经衍射光栅得到的两束相干光在金膜表面诱导出微光栅。借助原子力显微镜研究在不同的脉冲能量密度、脉冲个数、波长等条件下制备的光栅形貌,测得光栅的周期和线宽。研究发现,飞秒激光参数对光栅形貌的影响显著,制备光栅的最佳波长为800 nm,脉冲能量密度为0.794 5～1.335 6 J·cm-2,得到的光栅最小周期为6.54μm。理论分析了激光参数与所制备的光栅的特征参数之间的数量关系,讨论了这种关系形成的内在物理机制。