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微接触印刷法诱导沉积NH4Cl微图形结构

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以聚二甲基硅氧烷有机硅橡胶(PDMS)为弹性印章,十八烷基三氯硅烷(OTS)的正已烷溶液为"墨水",用微接触印刷技术使普通显微盖玻璃基片表面形成诸多具有不同浸润性的图形化微区,将基片放入氯化铵气体中沉积形成氯化铵微图形结构.讨论了沉积时间、基片表面预处理方式对微图形精细度的影响.

著录项

来源
《华东交通大学学报》 |2006年第4期|163-165|共3页
作者
杨小敏; 刘建平; 夏坚; 王卫;
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作者单位

华东交通大学,化学化工系,江西,南昌,330013;

华东交通大学,化学化工系,江西,南昌,330013;

华东交通大学,化学化工系,江西,南昌,330013;

华东交通大学,化学化工系,江西,南昌,330013;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类成组工艺;
关键词
微接触印刷; 选择性气相沉积; 微图形;

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