空气环境下制备相变特性VO_2薄膜

刘洋; 徐晓峰

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空气环境下制备相变特性VO_2薄膜

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提出了一种制备相变特性VO_2薄膜的简易方法.将制备好的金属钒薄膜置于440℃空气下氧化处理,获得相变温度为60℃的单斜VO_2薄膜,薄膜方块电阻值在60～85℃范围内变化量达2.2个数量级.X射线衍射分析(XRD)表明薄膜的主要成分为单斜相VO_2.探索了此工艺的一般性规律,分析高价态钒对薄膜相变的影响.

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来源
《东华大学学报（自然科学版）》|2009年第6期|743-746|共4页
作者
刘洋; 徐晓峰;
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作者单位

东华大学理学院,上海201620;

东华大学理学院,上海201620;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.2~+1;
关键词
VO_2薄膜; 相变; 空气环境; 氧化; 方块电阻;
入库时间 2022-08-18 07:33:58

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