激光刻蚀法加工平面传感器电极的工艺研究

摘要

针对平面传感器对电极在外观、电学性能方面的特殊要求,设计了一种螺旋结构的叉指电极,并重点研究采用激光打标设备刻蚀制作ITO薄膜平面叉指电极时,工作功率、刻蚀速度、刻蚀刀数、填充间距等工艺参数对刻蚀效果的影响,探索出最佳的刻蚀工艺条件.研究结果表明,采用激光打标设备加工薄膜型平面电极,可满足平面气体传感器的实际应用需求.