压电石英晶片灵敏度分布规律及其跟踪检测

摘要

为提高压电测力传感器的检测精度，减小横向干扰，应用坐标变换矩阵对压电石英晶片灵敏度分布规律进行了理论研究，给出了在新坐标系中的压电系数矩阵ｄ'＝ａｄα-１通用公式，并解出 Ｙ０°，ＡＴ，ＢＴ等切型的压电系数矩阵和Ｙ０°切型切向灵敏度分布规律。同时介绍了最新研制的应用微机控制的灵敏度分布规律连续跟踪检测系统，并用其对Ｙ０°切型晶片切向灵敏度分布情况进行了检测，结果表明理论分析与实测结果完全吻合。