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压电双晶片传感器灵敏度特性分析

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文中用模态分析法详细分析了压电双晶片力、振动、粗糙度传感器的位移特性及灵敏度特性,并给出了灵敏度与压电材料参数及晶片几何尺寸的关系.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2000年第7期|27-29,34|共4页
作者
叶会英; 浦昭邦;
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作者单位

哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,哈尔滨市,150001;

哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,哈尔滨市,150001;

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正文语种 chi
中图分类自动化元件、部件;
关键词
压电传感器; 灵敏度分析; 振动传感器; 力传感器; 粗糙度传感器;

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