掠入射X射线显微镜反射率分析

摘要

X射线掠入射显微镜的反射率除了与掠入射角有关之外,还与反射表面的粗糙度密切相关. 以设计的非共轴掠入射KBA X射线显微镜系统为例,讨论了掠入射下X射线从金属表面和单层膜表面反射的两种情况. 分析了波长为0.83 nm时,表面均方粗糙度(RMS)对反射率的影响,并计算了该系统的X射线反射率. 分析结果表明RMS增大,反射率会降低;无氧铜的反射率为0.021,单层膜的反射率为0.049,因此KBA X射线显微镜可采用镀单层膜的方法加工.