聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究

杜立群; 王煜; 王启佳; 陈莉

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聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究

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利用超声时效技术减小聚合物SU-8光刻胶的内应力,讨论了其机理.以基片曲率法为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小聚合物SU-8胶层内应力方面的作用.对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层的内应力值.实验结果显示,在超声时效10 min时,聚合物SU-8胶内应力减小2 MPa,消除率约为23.17%.这表明,在合适的实验参数下利用超声时效技术可以有效减小聚合物SU-8胶内应力.

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来源
《大连理工大学学报》 |2010年第6期|907-911|共5页
作者
杜立群; 王煜; 王启佳; 陈莉;
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作者单位

辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116024;

大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024;

大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024;

辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116024;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类超声的应用;
关键词
超声时效; SU-8光刻胶; 内应力测量;

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