基于深能级瞬态谱的深能级中心的仿真

摘要

介绍了深能级瞬态谱（DLTS）的基本原理,作了n型样品的深能级瞬态谱的计算。描述了DLTS信号的仿真方法,对n型6H-SiC中的一个深能级陷阱中心用Labview进行了仿真实验,探讨了率窗值等各参数对DLTS信号形状的影响。仿真结果表明,DLTS峰值温度及半宽度随着所有的参数改变而变化,但峰值的高度只与率窗值的选择有关。