单晶硅切片技术的研究进展

摘要

总结现有的单晶硅切片技术，全面分析比较内圆切片机切片技术、游离磨料线锯切片技术和固结磨料线锯切片技术的优缺点，认为固结磨料线锯切片技术是单晶硅切片技术的趋势；为了充分发挥固结磨料线锯切片技术的优势，提出了钎焊金刚石固结磨料线锯的新设想，并指出现阶段的研究热点为减少钎焊过程中线锯的热损伤。