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静电悬浮微陀螺的压膜阻尼特性

         

摘要

空气阻尼对静电微陀螺系统的动态特性起着重要的影响.根据流体力学,构建了描述微陀螺内部气体压膜阻尼特性的线性Reynolds方程.将微陀螺内部气膜分成了13个分区,推导了转子在轴向振动、径向振动、径向摆动时的压膜阻尼系数.根据微陀螺的结构参数进行仿真,结果表明:轴向压膜阻尼系数对微陀螺支承系统的动态特性影响最大,而压膜阻尼系数与气体的温度,压强呈线性关系,与振动幅值呈抛物线型关系;在低频段系统呈现阻尼力,而到高频段,系统呈现弹性力.利用Simulink进行了微陀螺的系统建模,得出压膜阻尼系数Cz对PID参数的选取,尤其是Kd参数,起着重要作用,同时对系统的稳定性也有一定的影响.

著录项

  • 来源
    《中国惯性技术学报》 |2010年第2期|219-224|共6页
  • 作者单位

    上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200030;

    上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海200030;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 导航设备;
  • 关键词

    微陀螺; 压膜阻尼; PID参数; 稳定性;

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