高温与电子束辐照共同作用下SiOx材料的结构演化研究

梁芮; 陈国新; 黄钦; 王楠; 唐发俊; 张志佳; 卢焕明; 康建立

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高温与电子束辐照共同作用下SiOx材料的结构演化研究

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本文利用透射电子显微镜原位加热技术研究了高温下SiOx材料的结构演化行为,并通过EELS谱分析了SiOx材料结构的化学组成变化.研究结果表明:在高温作用下,电子束辐照对SiOx材料的相分离过程起到了促进作用;高密度电子束辐照是SiOx材料中产生孔状结构的主要原因;SiOx材料在高温和电子束辐照作用下,会快速形成纳米硅镶嵌在多孔二氧化硅薄膜中的特殊结构.

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来源
《电子显微学报》|2021年第4期|367-372|共6页
作者
梁芮; 陈国新; 黄钦; 王楠; 唐发俊; 张志佳; 卢焕明; 康建立;
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作者单位

天津工业大学材料科学与工程学院天津300387;

中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江宁波315201;

天津大学材料科学与工程学院天津300072;

中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江宁波315201;

天津工业大学材料科学与工程学院天津300387;

广东省科学院半导体研究所广东广州510650;

中国电子科技集团公司第四十六研究所天津300220;

中国电子科技集团公司第四十六研究所天津300220;

天津工业大学材料科学与工程学院天津300387;

中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江宁波315201;

天津大学材料科学与工程学院天津300072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;相变;再结晶;
关键词
SiOx材料; 电子束辐照; 原位TEM加热;

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