单色球差校正扫描透射电子显微镜的实验室设计

摘要

随着扫描透射电子显微镜(STEM)球差校正技术以及电子束单色器技术的出现,电镜的空间分辨率和能量分辨率都有了革命性的提高.然而这些技术的出现只是使仪器的精度提高并不是使仪器对环境的要求更宽松.相反,为了达到更高的精度,仪器对于实验环境的要求变得越来越严格,所以环境的稳定性经常成为仪器精度的限制因素.本篇文章介绍了如何针对超高能量分辨率和空间分辨率的单色球差校正扫描透射电子显微镜而建造一套满足要求的实验室.其中包括微振动控制、磁场干扰、温度波动、噪声和独立接地电阻以及洁净度等对电镜性能的影响以及应对方法.