首页> 中文期刊> 《电子显微学报》 >微光显微镜(EMMI)在器件失效分析中的应用

微光显微镜(EMMI)在器件失效分析中的应用

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文对某款模拟开关开展失效分析,在芯片表面无异常的情况下采用微光显微镜(EMMI)对器件内部损伤点进行准确定位,并开展静电模拟试验对失效原因进行了验证.该案例展示了EMMI在半导体芯片内部缺陷无损定位和分析中的作用,为半导体芯片失效分析提供技术手段.

著录项

来源
《电子显微学报》 |2019年第2期|156-158|共3页
作者
丁鸷敏; 吴照玺; 段超;
展开▼
作者单位

中国空间技术研究院电子元器件可靠性中心;

北京100094;

中国空间技术研究院电子元器件可靠性中心;

北京100094;

中国空间技术研究院电子元器件可靠性中心;

北京100094;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类显微镜;测量和检验;
关键词
EMMI; 元器件失效分析; 缺陷定位;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 声学扫描显微镜在塑封器件失效分析中的应用 [J] . 陈美静 ,赵海龙 ,黄杰 . 电子测试 . 2020,第016期
2. 半导体器件与IC失效分析的有力工具——介绍显微红外热仪InfraScope 和光福射显微镜EMM1630 [J] . 何小琦 ,费庆宇 . 电子产品可靠性与环境试验 . 1996,第002期
3. 基于PLD器件的门控技术在微光像增强器中的应用 [J] . 智强 ,延波 ,杨晔 . 红外技术 . 2013,第003期
4. 电荷耦合器件图像传感器在微光成像系统中的应用 [J] . 李震 ,税东冬 ,邹永星 . 电子质量 . 2003,第011期
5. 带能谱分析的扫描电子显微镜在电子封装失效分析中的应用 [J] . 方嘉 . 理化检验-物理分册 . 2011,第003期
6. 红外发光显微镜EMMI及其在集成电路失效分析中的应用 [C] . 张滨海 ,方培源 ,王家楫 . 第五次华北五省市电子显微学研讨会暨第六届全国实验室协作服务交流会 . 2008
7. 先进失效定位技术—EMMI/MCT与OBIRCH在90mn制程失效分析中的运用 [A] . 梁山安 . 2007

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号