改进普通三极电子枪SEM低压象分辨率的探讨

摘要

在SEM的应用技术中,低压象的观察引起一些科学工作者的兴趣,因为低加速电压能减少电子束对样品的损伤,减少充放电现象,有些样品可以不经处理直接观察,总之,低压象更能表现样品表面的真实结构。但普通电子枪在低压或超低压时亮度低,图象信噪比差,由于空间电荷效应使成象色差加大,致使图象分辨率下降。通过对1000B型SEM的钨丝附极电子枪的不同几何尺寸和加速电压下的束斑直径、亮度、的测量以及高倍象的观察。探讨了改进低压象质量的途径。实验表明:普通三极电子枪在正常状态下。