螯合剂对钛酸钡薄膜表面形貌的影响

摘要

近年来，由于BaTiO3薄膜在动态存储器(DRAM)、薄膜存储器等方面的潜在应用前景而广受青睐。钛酸钡薄膜的制备方法很多，溶胶一凝胶法是其中之一。该法具有化学剂量比可控性好、不需真空设备、适合大面积大规模生产的优点，因而逐步为材料学家所重视，是研制高质量超薄型膜的重要