螯合剂对钛酸钡薄膜表面形貌的影响

摘要

近年来,由于BaTiO<,3>薄膜在动态存储器(DRAM)、薄膜存储器等方面的潜在应用前景而广爱青睐.钛酸钡薄膜的制备方法很多,溶胶-凝胶法是其中之一.该法具有化学剂量比可控性好、不需真空设备、适合大面积大规模生产的优点,因而逐步为材料学家所重视,是研制高质量超薄型膜的重要手段.本文用Sol-Ger工艺制备BaTiO<,3>薄膜,研究了螯合剂乙酰丙酮对钛酸钡结晶起始温度的影响及薄膜微结构的影响规律.