TiN/TiB2纳米多层膜的共格外延生长

摘要

两种材料以纳米量级交替优积彤戚的纳米多层薄膜因具有超硬效应而得刮广泛的关注和研究两调制层在小周期时形成共格界面的外延生长结构是纳米多层膜产生硬度异常升高的重要微结构特征。具有超硬效应的氧化物纳米多层膜多形成相同晶体结构类型的共格外延生长结构，然而，近期的研究表明，两种不同晶体结构类型的材料，在特定的晶面形成异结构共格外延生长的纳米多层膜不仅会产生超硬效应，且具有硬度增量更大和高硬度的调制周期范围更宽的明显优势。