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纳米多层膜中立方AIN外延生长的HRTEM观察

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@@ 以亚稳态存在的立方AIN具有很高的硬度、弹性模量、耐磨性、抗氧化性以及高温稳定性等优良的综合力学性能,是一种理想的硬质薄膜材料[1-3].

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来源
《电子显微学报》 |2002年第5期|633-634|共2页
作者
田家万; 劳技军; 虞晓江; 李戈扬; 宁兆元;
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作者单位

上海交通大学金属基复全材料国家重点实验室,上海,200030;

上海交通大学金属基复全材料国家重点实验室,上海,200030;

上海交通大学金属基复全材料国家重点实验室,上海,200030;

上海交通大学金属基复全材料国家重点实验室,上海,200030;

苏州大学薄膜材料重点实验室,江苏,苏州,215006;

苏州大学薄膜材料重点实验室,江苏,苏州,215006;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
纳米多层膜; AIN; 外延生长; HRTEM; 高分辨电子显微镜; 立方相; 氮化铝;

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