针式轮廓仪的技术改进研究

摘要

随着精密和超精加工技术的进步,需要更高水平的设备检测微表面质量.表面粗糙度是一个重要指标,表面粗糙度测量仪从二维到三雏实施检测.虽然许多非接触检测技术已得到应用,不过要从安装方便、可靠性高这个角度来看,针式法是一种优先选用的方法.本文对如何引进和使用精密三维工作台来改善此方法进行了研究.详细论述了测量系统的组成和精密三维工作台的设计.通过三个设计方案的论证分析,提出了将针式测量仪和计算机结合在一起的智能化测量系统.该检测方法具有检测参数超过平面限制的三维粗糙度测量方法.