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光纤探针式轮廓仪的理论与实验研究

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摘要

在单根单模光纤作为发射光纤兼接收光纤的情况下,提出了光纤探针式轮廓仪,得到一个光纤探针来测量被测表面的微观轮廓曲线,并由轮廓曲线得到了表面粗糙度的各种参数和光纤探针的形状和尺寸.同时阐述了利用光纤探针测量表面轮廓和粗糙度的原理及光纤探针式轮廓仪的构成和工作原理,给出了测量结果.

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来源
《电子科技大学学报》|2003年第1期|35-38|共4页
作者
孙俊卿; 裘道源;
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作者单位

中国民用航空学院机电学院,天津,300300;

中国民用航空学院机电学院,天津,300300;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学仪器;
关键词
粗糙度; 光纤探针; 轮廓仪; 非接触测量;
入库时间 2022-08-18 07:47:35

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