单模光纤探针式光学轮廓仪的基础研究

摘要

本文提出了单模光纤探针式光学轮廓仪的构成及工作原理 ,重点分析了光纤探针的基本理论 ,导出了理想状态下光纤探针与被测表面的耦合效率 ,分析了光纤探针扫描时表面轮廓对耦合效率的调制原理。给出了单模光纤探针探头的基本结构。在实验中用单模光纤探针式光学轮廓仪实验装置进行了测试 ,给出了实验结果和误差分析 。