移相式数字光学轮廓仪的研制

摘要

相移干涉技术是表面轮廓测量领域中得到了广泛应用的可实现高精度测量的技术方法。本文将相移干涉技术与上海光学仪器厂的 6 JA型干涉显微镜结合起来 ,研制成功了移相式数字光学轮廓仪 ,其测量范围 0 .5 nm～ 1um,精度达到了 σ<0 .0 5 nm(Ra) ,σ<0 .7nm(P- V)。由于相关技术的突破 ,该仪器可以对多种材料、多种轮廓形状的表面实现测量 。