单模光纤探针粗糙度测量技术的研究

摘要

本文根据表面轮廓调制原理，采用计算机控制的单模光纤探针扫描技术及相应的信号处理电路，提出了智能化光纤探针式轮廓仪。文中对仪器构成原理的有关理论基础及关键技术进行了介绍，最后利用本测量技术进行了实验测量，给出了实验结果及误差分析。