大离轴量抛物面镜的加工

     

摘要

大离轴抛物面镜的加工与检测是当今光学加工的热门课题.本文介绍了为新加坡同步辐射光源研制的离轴抛物面镜,包括抛物面镜的加工与检测.该抛物面镜零件的特点是离轴量1米以上,倾斜度误差与表面粗糙度要求都很高.加工的最终倾斜度误差为1.55弧秒,粗糙度RMS为2.24纳米,达到国际同类镜的先进水平.

著录项

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号