离轴抛物面镜离子束修形工艺研究

目录

摘要

1．1研究背景及意义

1．2国内外研究现状

1．2．1光学制造加工技术现状

1．2．2离子束抛光技术现状

1．3论文主要研究内容

2球面转非球面修切量求解

2．1最接近球面理论

2．2离轴抛物面镜最小修切量求解

2．2．1作为部分轴对称非球面

2．2．2转换坐标系

2．3本章小结

3K9材料去除特性研究

3．1K9元件材料特性

3．2去除函数获取

3．2．1斑点法

3．2．2法拉第杯法

3．3去除函数稳定性因素分析及补偿措施

3．3．1热效应分析及补偿措施

3．3．2步迸电机稳定性分析及解决措施

3．3．3离子源稳定性分析及解决措施

3．4本章小结

4离轴抛物面镜抛光研究

4．1驻留时间理论研究

4．1．1驻留时间求解

4．1．2驻留时间仿真研究

4．2离轴抛物面镜检测技术研究

4．3离轴抛物面镜离子束抛光实验

4．3．1球面转离轴抛物面加工

4．3．2小束径离子束加工

4．3．3局部高点离子束加工

4．4离轴抛物面镜粗糙度演变

4．5本章小结

5结论与展望

5．1结论

5．2展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文及成果

致谢

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