精密激光刻划机中的光学技术

摘要

本文介绍的工作台用计算机结合光电编码器控制伺服电机驱动的精密激光刻划机。运用激光轴予偏置以适应非平面工件刻划，以激光点不同线密度改变刻线宽度，用微光点批示工位等光学技术，有效地提高了整机的高精度同质量刻划性能。