一种紫外激光聚焦镜头、激光打标机及激光刻划机

摘要

本发明适用于光学镜头领域，提供了一种紫外激光聚焦镜头、激光打标机及激光刻划机，所述紫外激光聚焦镜头包括：沿光线入射方向依次设置的第一透镜、第二透镜和第三透镜，所述第一透镜、第二透镜和第三透镜位于同一光轴上，所述第一透镜为双凸型透镜，所述第二透镜为曲面向着光线入射方向弯曲的弯月型透镜，所述第三透镜为凸平型透镜；当波长为355nm的紫外激光经所述镜头聚焦，其焦距f为60mm，入瞳直径D为30mm。本发明通过在沿光线的入射方向依次设置双凸型透镜、弯月型透镜和凸平型透镜构成紫外激光聚焦镜头，紫外激光经该镜头聚焦光斑小、能量集中，可进行超精细加工，加工而成的产品更加精细、清晰。