温度和时间对TiN涂层性能的影响

摘要

采用物理化学气相沉积技术，在不同的温度和时间下制备２组ＴｉＮ涂层试样，讨论了温度与时间对涂层性能的影响，并在微观结构分析基础上，讨论了时间和温度等工艺参数与微观结构和性能间的关系。