在多晶银基片上制备YBCO织构膜的研究

摘要

采用ＹＢＣＯ烧结靶平面磁控溅射，原位处理工艺，在多晶银基片上进行镀制高温超导薄膜的研究。经过大量实验，研究了沉积温度，真空度，氩氧比对膜层结构，性能的影响，并在温度为７００℃，真空度为１８Ｐａ，氩氧比为１：１，靶电流１－２Ａ的条件下，获得了具有Ｃ轴织构的ＹＢＣＯ超导薄膜。