在多晶金属基片上制备双轴织构YSZ膜

摘要

采用调制偏压射频磁控溅射技术在多晶ＨａｓｔｅｌｏｙＣ金属基带上制备钇稳定的ＺｒＯ２薄膜（ＹＳＺ），得到了ｃ轴织构和部分平面内双轴织构的ＹＳＺ薄膜。用Ｘ射线衍射θ２θ扫描、ω扫描和扫描对ＹＳＺ薄膜的织构进行了测量，并研究了沉积条件对织构形成的影响。