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CVD金刚石膜中的缺陷

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摘要

研究了利用直流电弧等离子体喷射（DC Arc Plasma Jet）的制备的大面积金刚石膜中的缺陷问题.研究表明:金刚石膜中的缺陷包括表面缺陷、晶内缺陷和晶界缺陷,以及由于内应力产生的金刚石膜宏观和微观裂纹.金刚石膜中的缺陷与制备工艺参数有着密切关系.

著录项

来源
《工程科学学报》 |2002年第4期|426-428|共3页
作者
张恒大; 刘敬明; 宋建华; 吕反修; 唐伟忠;
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作者单位

北京科技大学材料科学与工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
CVD; 金刚石膜; 表面缺陷; 成因分析; 等离子体喷射; 晶内缺陷; 晶界缺陷; 化学气相沉积;

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