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PSD器件及其在精密测量中的应用

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cqvip:ＰＳＤ器件是近几年出现的一种新型位置探测器，可直接用来测量角度、高度、距离及运动．本文介绍了ＰＳＤ器件的工作机理，给出了三种ＰＳＤ器件的等效电路和坐标位置电流函数表达式，并就ＰＳＤ器件在位移和三维运动测量中的应用方式和应用范围进行了讨论．

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来源
《北京航空航天大学学报》 |1994年第3期|P.259-262|共4页
作者
张广军;
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作者单位

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正文语种 chi
中图分类非电量的电测量及仪表;
关键词
测高; 测距; 等效电路; 位置传感器;

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