一种基于螺旋测微计的PSD位移精密测量装置

摘要

本实用新型属于测量仪器技术领域，特别是涉及一种新型基于螺旋测微计的PSD位移精密测量装置。包括PSD位移传感器、PSD电路结构、底座、固定块、螺旋测微头、电源、半导体激光器、升降调节架和滑块；所述电源设置在半导体激光器上部与半导体激光器电连接；半导体激光器下表面连接升降调节架的上端头；升降调节架底部固定在滑块上，侧面与螺旋测微头的调节头固定连接；调节精度更高，误差更小，还可直接读出PSD位移，使用更加方便。