激光热解制备超细硅粉

摘要

通过激光引发化学气相热解反应。在连续流动体系中，由原料硅烷制备了超细硅粉。不同焰温制备出的粉体可以由非晶态到晶态变化，采用非接触测温技术，研究了反应参数的变化对反应焰温的影响。粉体ＴＥＭ测定结果表明为单分散球形颗粒。