一台高能高分辨电子能量损失谱仪的物理设计

摘要

电子能量损失谱仪是原子分子激发态和动力学研究中的一种有力工具。 我们正在建造的一台能量损失谱仪的入射电子能量可以达到1-5KeV,能量分辨率达到100-50meV,这种高能高分辨能量损失谱仪的困难在于不仅要克服电子枪出来的电子能量的固有热起伏(约1eV),而且要克服高压电源不稳定性引入的不确定性。前者使用单能器实现,后者除要求高