微小尺寸夫朗荷费衍射测量中的误差研究

摘要

分析了用夫朗荷费衍射测量微小尺寸的原理误差，包括夫朗荷费近似误差和极值特征点位置探测误差，以狭缝为例，利用计算机仿真技术对该两项系统误差进行了修正。