公开/公告号CN108897196A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201810757735.7
申请日2018-07-11
分类号G03F7/20(20060101);G03F9/00(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人韩建伟;谢湘宁
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-19 07:23:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20180711
实质审查的生效
2018-11-27
公开
公开
机译: 衍射光栅中的误差测量-具有周期结构,表示为由两个相干光束照射形成的像差
机译: 衍射光栅中的误差测量-具有周期结构,表示为由两个相干光束照射形成的像差
机译: 用于在基于衍射的光学系统中调节波长依赖性的校正装置具有具有可控结构的衍射光学光调制器和用于照亮该光调制器的光源