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金和铂在Si-Al2O3界面的电学效应

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本文系统地研究了金、铂等杂质在Si-Al2O3界面的电学特性及其热处理变化,给出了界面的电子能谱分析结果,并对Au（Pt）等杂质界面效应的作用机制进行了探讨.

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来源
《应用科学学报》 |1988年第3期|233-240|共8页
作者
李思渊; 殷之平; 张同军; 王毓珍; 贾笑天;
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作者单位

兰州大学;

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